上海を拠点とする先進微細加工設備有限公司（AMEC）は、深紫外発光ダイオード（DUV LED）を量産するために設計された金属-有機化学気相成長（MOCVD）システム「Prismo HiT3」を発表しました。
この装置は、青色LEDの製造にすでに採用されているAMECの「Prismo MOCVD」製品群に新たに加わったものです。リアクターチャンバーの最高温度は1400℃で、窒化アルミニウム（AlN）や高アルミニウム部品材料の成長を可能にし、優れたプロセス性能、優れたウェハ均一性、低欠陥性を実現します。[1] 高スループット向けに設計されたこの装置は、1ランあたり最大18枚の2インチ・エピタキシャル・ウェーハを処理でき、4インチ・ウェーハまで拡張可能です。
初期の顧客には、家庭用アプリケーション用のDUV LED、医療機器、科学研究に使用される製品を製造する中国のJason Semiconductor Co Ltdがついています。
DUV光は、工業用および民生用アプリケーションの殺菌剤として数十年にわたって使用されてきました。DUV光は細菌やウイルスのDNAを破壊し、細菌やウイルスの生殖能力を殺すことによって殺菌します。SARS、MERS、COVID-19のような病原体の出現により、DNAを破壊する十分なエネルギーを持つDUV LED製品の需要が高まっており、現在の最も波長の短いLEDは、260～280nmの発光波長を持ちます。
AMECによると、「Prismo HiT3」の斬新なチャンバー設計は、超高温プロセスでのAlNの成長を可能にする様々な技術を搭載しており、高収率を実現しているといいます。自動真空搬送システムがパーティクルの発生を防ぎ、欠陥を低く抑えます。このプロセスは自動化されており、競合他社の装置よりもメンテナンス間の平均時間が長く、稼働時間と生産能力をさらに最大化すると主張しています。
“今日、我々はDUV LEDの利点をリアルタイムで確認しており、この技術は有害な病原体を破壊するための重要なツールとなっています “とJason社のJian Kang会長は指摘しています。”DUV LED技術の科学が進歩し続ける中、私たちは、家庭だけでなく公共の環境を消毒する製品で最先端を走っていることを誇りに思います”と述べています。AMECの「Prismo HiT3」は、DUV LEDに求められる大量生産・低コスト生産の要件を満たすことができます。
“プリズモHiT3システムは、実績のある「プリズモ」プラットフォームの革新的な機能をすべて搭載しており、新たにAlNベースのDUV LEDアプリケーション向けの超高温プロセス機能を備えています。”ジェイソンは早くからのユーザーです。同社は、LED技術の限界を開拓し、人間の健康に役立つ製品を生み出すことで知られています」と彼は付け加えます。”当社の装置ソリューションが、次世代DUV LEDの技術とコストの目標達成に貢献していることを嬉しく思います。”
元記事：http://www.semiconductor-today.com/news_items/2020/jul/amec-300720.shtml
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MOCVDメーカというと、ドイツのAixtronかアメリカのVeeco、日本の大陽日酸が有名ですが、最近は中国のメーカが出てきているようですね。まだ新興メーカですし、おそらく中国国内でしか売れていないのではないかと思いますが、、、
[1]深紫外LEDにはバンドギャップの大きい、AlN, 高Al組成AlGaNが使われます。AlNの結晶成長温度が高温であるほど結晶の品質が向上し、一般的なMOCVD炉では1200℃前後が上限です。