半導体の製造現場ではウェハのシート抵抗測定が行われています。その目的とシート抵抗に関係するキャリア密度について数式を用いながら、まとめていきます。 シート抵抗を測定する目的 半導体ウェハの評価項目の一つにシート抵抗測定が … 続きを読む 【半導体物理】キャリア密度とシート抵抗