AMECが深紫外LED向けのMOCVD装置を発表 コロナ対策での需要増

上海を拠点とする先進微細加工設備有限公司(AMEC)は、深紫外発光ダイオード(DUV LED)を量産するために設計された金属-有機化学気相成長(MOCVD)システム「Prismo HiT3」を発表しました。 この装置は、…