4 articles 結晶成長

【半導体物理】Si基板上へのGaN成長【結晶成長】

GaNはバンドギャップの大きな半導体材料であり、そのバンドギャップの大きさを利用して、青色から紫外のLEDやパワーデバイス、高周波デバイスに利用されています。特に、2014年のノーベル物理学賞はGaNの結晶成長に関する研…

MOCVD装置:スロットルバルブの交換

仕事での出来事の備忘録として書き記そうと思う。 MOCVD装置で成長を開始しようと、いつもの手順で排気ラインを切り替えたところ、配管の圧力がいつもより速いスピードで下がっていった。何が原因なのか調べたところ、バキュームポ…