はじめに 高分解能TEM(HRTEM)では結晶格子像から転位を観察できるが、らせん転位(screw disl […]
カテゴリー: 結晶成長
【半導体物理】Si基板上へのGaN成長【結晶成長】
GaNはバンドギャップの大きな半導体材料であり、そのバンドギャップの大きさを利用して、青色から紫外のLEDやパ […]
MOCVD装置：GaNの成長時の反応
青色LEDやパワーデバイス、高周波デバイスにGaNが使われている。半導体デバイスにおいて、デバイスを作るには基 […]
MOCVD装置：As/P系の配管メンテ
仕事で使うMOCVD装置は、危険なガスを使っている。そのため、定期的に講習会が開かれている。今回はそのときに勉 […]
MOCVD装置：スロットルバルブの交換
仕事での出来事の備忘録として書き記そうと思う。 MOCVD装置で成長を開始しようと、いつもの手順で排気ラインを […]
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