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【半導体物理】Si基板上へのGaN成長【結晶成長】

GaNはバンドギャップの大きな半導体材料であり、そのバンドギャップの大きさを利用して、青色から紫外のLEDやパワーデバイス、高周波デバイスに利用されています。特に、2014年のノーベル物理学賞はGaNの結晶成長に関する研…

青色LEDやパワーデバイス、高周波デバイスにGaNが使われている。半導体デバイスにおいて、デバイスを作るには基板の上に所望の構造の結晶を成長させる必要がある。研究用途では、MBEによるGaNの結晶成長が行われているが、工…

仕事で使うMOCVD装置は、危険なガスを使っている。そのため、定期的に講習会が開かれている。今回はそのときに勉強したことをまとめていく。 As/Pを使うMOCVD装置の配管メンテ As/Pを使うMOCVD装置は配管のメン…

仕事での出来事の備忘録として書き記そうと思う。 MOCVD装置で成長を開始しようと、いつもの手順で排気ラインを切り替えたところ、配管の圧力がいつもより速いスピードで下がっていった。何が原因なのか調べたところ、バキュームポ…