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SiCN膜の特性 Posted on 2021年12月22日 | By sciencompass34 | No comments SiCN膜の特性についてまとめ、GaN HEMTのパッシベーションおよびゲート絶縁膜として使えるかどうか考える。 Read More » SiCN膜の特性
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