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タグ: MIS

二層絶縁膜におけるフラットバンドシフトの計算および界面電荷の蓄積

MIS構造において、一般的には絶縁膜は1種類の単層膜だが、2つの異なる絶縁膜を積層した構造をとる場合もある。そのときのフラットバンドシフトの計算と電圧をかけた時に絶縁膜の間に蓄積する分極電荷を計算する。