シート抵抗

半導体の製造現場ではウェハのシート抵抗測定が行われています。その目的とシート抵抗に関係するキャリア密度について数式を用いながら、まとめていきます。 シート抵抗を測定する目的 半導体ウェハの評価項目の一つにシート抵抗測定が…