3C-SiC

新しいパワーデバイスの材料として使用されているSiCですが、数多くの結晶多形をもつ材料としても有名です。 ここでは、その中でもデバイスに使われている主な結晶多形3つの構造を紹介します。 SiCの主な結晶多形は3C-SiC…