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SiCN

SiCN膜の特性

Posted on 2021年12月22日2021年12月22日 by sciencompass34

SiCN膜の特性についてまとめ、GaN HEMTのパッシベーションおよびゲート絶縁膜として使えるかどうか考える。

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  Posted in 半導体物理 Tagged SiCN, GaN HEMT    Leave a comment

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