移動度

半導体において、キャリアである電子（もしくは正孔）の移動度測定は重要な物性です。 特に電子デバイスにおいてはそれが電流-電圧特性を左右しますので、実際の移動度がどのくらいなのか評価する必要があります。 キャリアの移動度を…

半導体の製造現場ではウェハのシート抵抗測定が行われています。その目的とシート抵抗に関係するキャリア密度について数式を用いながら、まとめていきます。 シート抵抗を測定する目的 半導体ウェハの評価項目の一つにシート抵抗測定が…