Si MOSFETに限らず、SiCパワーデバイス、GaN HEMTにおいても高誘電率ゲート絶縁膜が用いられてき […]
高誘電率ゲート絶縁膜のフォノン散乱による移動度低下
投稿者: sciencompass34
はじめまして！”あおやぎ”と言います。
メーカーで研究開発の仕事をしています。このブログでは、私の専門分野である半導体やそれに関連する内容を紹介していきます。
半導体関連の知識をまとめたデータベースのようにしたいなと思っています。
X線回折測定によるGaNの転位密度算出
エピタキシャル成長した結晶の品質をはかる指標に転位密度があげられ、転位が少ないほど品質が良い。転位密度はX線回折測定によって、各面方位の半値幅を評価することで算出することができる。この記事ではGaNのエピタキシャル層の転位密度を求めることを考え、XRD測定で得られた半値幅から転位密度に換算する式を紹介する。
GitHub 使い方メモ リポジトリの作成からReadMe
Git Hubの使い方を紹介しているページをまとめています。 特に最初につまずきやすい、リポジトリの作成からR […]
薄膜にかかる応力 ストーニーの式
基板上に薄膜を成膜することで応力がかかり、基板が反る。この時の応力を計算するのが、ストーニーの式であり、この記事ではストーニーの式の紹介と、GaN on SiCでの計算例を紹介する。
LSI 層間絶縁膜の材料の変遷
LSIにおける層間絶縁膜の変遷についてまとめられた論文を紹介する。 Hong, N.; Zhang, Y.; […]
SiCN膜の特性
SiCN膜の特性についてまとめ、GaN HEMTのパッシベーションおよびゲート絶縁膜として使えるかどうか考える。
ミラー電子顕微鏡による基板評価
パワー半導体の分野では高効率・高出力化に有利なSiCが広く使われるようになってきている。 SiCパワーデバイス […]
染料の非破壊分析 エジプシャンブルーとインディゴ
先日、「大英博物館ミイラ展 古代エジプト6つの物語」に行ってきました[1]。 ミイラをCTスキャンで解析し、埋 […]
【Mathematica】微分方程式の解き方
Mathematicaで微分方程式を解くときのコマンドは次のとおりである。 DSolve[x”[t […]
pythonで等高線（コンター図）を描画する
エクセルで書こうとすると手間がかかる等高線ですが、pythonであれば簡単に描くことができます。
pythonで等高線（コンター図）を描画するプログラムはいろいろな方が紹介されていますが、その中でも私が一番良いと思うものを紹介します。
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